HORIBA質(zhì)量流量控制器 HORIBA STEC專注于質(zhì)量流量控制器的研究開(kāi)發(fā)，服務(wù)于近乎藝術(shù)級(jí)的半導(dǎo)體制程，并持續(xù)不斷地制造各類產(chǎn)品，滿足用戶的各種需求。

多種配置選擇，通信模式可選擇數(shù)字/模擬，DeviceNet, CC-Link,和PROFIBUS.

兩種氣體管路接口到接口之間的尺寸規(guī)格供選擇：124 mm-和106mm- （W系列）

氣體流量控制范圍擴(kuò)大到從10 SCCM到200 SLM。SEC-N100系列適用于各種需要?dú)怏w控制方面的應(yīng)用。

特點(diǎn)：

高精度  高設(shè)定信號(hào)點(diǎn)精度

MFC的線性由多條近似曲線進(jìn)行補(bǔ)償。這樣能確保在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為了改進(jìn)針對(duì)實(shí)際氣體的精度，HORIBA STEC使用標(biāo)準(zhǔn)氣體測(cè)量系統(tǒng)測(cè)試各種制程中使用的氣體并取得測(cè)試數(shù)據(jù)。

精度：±1.0% S.P. : 30-100% F.S. ±0.3% F.S. : W30%F.S.

全流量范圍的高速相應(yīng)  

新的可變PID算法：1秒高速響應(yīng)。SEC-N100具有新研發(fā)的“可變PID系統(tǒng)"，能在1秒內(nèi)對(duì)任何信號(hào)設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行響應(yīng)?？勺?PID根據(jù)設(shè)定流量點(diǎn)位不斷修正計(jì)算，這樣當(dāng)用戶改變滿量程和氣體種類時(shí)PID參數(shù)能得到優(yōu)化。

多氣體，多量程的解決方案

附加的軟件可以讓用戶很容易地改變使用規(guī)格

新的多氣體，多量程系統(tǒng)使在用戶端自由改變氣體種類和使用量程范圍成為可能。